Home > 제품소개 > Negative photo resist
Description | Properties | |
- APOL-LO 3200 Series Resist is a negative tone Advanced Photoresist with Lift-Off profile for i-Line, and broadband applications. - Application: Compound Semiconductors (CS), LEDs, RF, VCSEL. | - Improved resolution and Wider process window. - Film Thickness range 2 – 10+ μm. - Designed for use with industry standard TMAH developers. - Customization available to: Adjust Lift-Off Angle and PhotoSpeed. |
APOL-LO 3200 Series Spin Curve | APOL-LO 3200 Series Film Thickness Ragne | ||||||||||||
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APOL-LO 3200 Series: Lift Off Process Guide | |||||||||||||||||||||||||
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Stepper and Broadband Performance | ||||||||||||||||||
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APOL LO 3200 Stepper Through Focus Profile | |||
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Product Suite |
Tone / Exposure |
Product |
Film Thickness (μm) | |||||||||||||||||||
0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 1.3 | 2 | 2.5 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 20 | 30 | 40 | 50 | 100 | |||
KL 5302 Hi-Res Interference Lithography (Link) |
Positive i-Line, Broadband, g-line |
KL 5302 Hi-Res | ||||||||||||||||||||
KL 5300 General Purpose (Link) |
Positive i-Line, Broadband, g-line |
KL 5302 | ||||||||||||||||||||
KL 5305 | ||||||||||||||||||||||
KL 5310 | ||||||||||||||||||||||
KL 5315 | ||||||||||||||||||||||
KL 6000 General Purpose Thick (Link) |
Positive i-Line, Broadband, g-line |
KL 6003 | ||||||||||||||||||||
KL 6005 | ||||||||||||||||||||||
KL 6008 | ||||||||||||||||||||||
K-PRO Packaging Resist (Link) |
Positive i-Line, Broadband, g-line |
K-PRO 7 | ||||||||||||||||||||
K-PRO 715 |
Product Suite |
Tone / Exposure |
Product |
Film Thickness (μm) | |||||||||||||||||||
0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 1.3 | 2 | 2.5 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 20 | 30 | 40 | 50 | 100 | |||
HARE SQ Negative Epoxy (Link) |
Negative Epoxy Resist i-Line, Broadband MEMS, Microfluidics |
SQ 2 | ||||||||||||||||||||
SQ 5 | ||||||||||||||||||||||
SQ 10 | ||||||||||||||||||||||
SQ 25 | ||||||||||||||||||||||
SQ 50 | ||||||||||||||||||||||
KL Image Reversal Lift Off (Link) |
Positive / Negative i-Line, Broadband, g-line |
KL IR-15 Lift Off | ||||||||||||||||||||
KL IR-15 | ||||||||||||||||||||||
APOL-LO 3200 Negative Lift Off (Link) |
Negative i-Line, Broadband |
APOL-LO 3202 | ||||||||||||||||||||
APOL-LO 3204 | ||||||||||||||||||||||
APOL-LO 3207 |